http://cozy-heat-ir.com/zh/tags/%E6%B5%8B%E9%87%8F/ Recent content in 测量 on Cozy Infrared Home Heating Hugo zh Thu, 02 Jul 2026 09:52:54 +0800 http://cozy-heat-ir.com/zh/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:52:54 +0800 http://cozy-heat-ir.com/zh/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="晶圆表面张力测量加热器"></p> <p>在光刻过程中，如果晶圆上出现0.5°C的温差，就足以破坏光刻质量的稳定性。无论是软烘烤还是硬烘烤，都无法消除这种不均匀的热分布——过去如此，将来也依然如此。我们设计了专门的晶圆表面温度测量装置，以此来消除这种温度波动，从而确保整个晶圆表面的温度保持在±0.1°C的范围内。</p>