http://cozy-heat-ir.com/zh/tags/%E6%B0%B4%E5%88%86%E6%B9%BF%E5%BA%A6/ Recent content in 水分；湿度 on Cozy Infrared Home Heating Hugo zh Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="晶圆除湿加热灯"></p> <p>在300 mm生产线上，晶圆进入烘烤轨道时仍带有一层薄薄的表面水分。如果灯无法快速且均匀地将水分驱除，下一次光刻工序就会显现问题——边缘珠、光刻胶缺陷，以及在对账报告中表现为良率损失的CD漂移。加热灯并非背景设备，而是工艺的关键限制因素。</p>