氢气传感器制造用加热器

Fri, 17 Jul 2026 08:22:51 +0800

如何为氢传感器精准控制温度

在制造氢传感器时，晶圆的温度必须精确控制。如果温度不准确，那么整批产品都会报废。不过，问题在于：大多数加热器会浪费大量能量。我们通过使用镀金反射器来解决问题——这样，热量就能集中在晶圆上，而不会散失到腔室壁上。

想象一下普通的石英灯，它会将热量向四周散发。在常规情况下，有一半的能量被白白浪费掉了。通过在反射器上添加高纯度的黄金层，就可以改变这一状况。黄金具有极好的反射红外线的能力，它能够将那些被浪费的能量重新导向晶圆上。这样，每消耗一瓦特的电能，就能获得更多的热量。