Bộ nung chế tạo ống nano cacbon

Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800

Trên sàn lithography, quá trình nướng photoresist là nơi mà ngân sách nhiệt của bạn chuyển thành kiểm soát độ rộng đường. Sự thay đổi một độ trong quá trình nướng mềm sẽ ảnh hưởng đến cách thức dung môi được loại bỏ. Và nếu quá trình nướng cứng không đồng nhất trên toàn bộ wafer, bạn có thể quên đi sự đồng nhất của CD chặt chẽ. Đó chính xác là nơi mà các bộ gia nhiệt từ carbon nanotube phát huy tác dụng.

Điều gì quan trọng, về mặt kỹ thuật

Chúng tôi đã chế tạo các bộ gia nhiệt này xung quanh bức xạ hồng ngoại sóng ngắn với bộ phát carbon nanotube. Chúng đạt đến điểm đặt nhanh chóng và duy trì ổn định. Lợi ích là một trường nhiệt trên mặt phẳng wafer đồng nhất trong khoảng dưới 1 mm, với độ đồng nhất ở cấp wafer là ±0.1°C tại nhiệt độ nướng photoresist điển hình. Khả năng lặp lại nằm dưới 0.05°C sự trôi từ điểm đặt tới điểm đặt trong 24 giờ, vì vậy mỗi lô sẽ nhận được cùng một hồ sơ nhiệt. Hệ thống giữ sạch, không tạo ra hạt bụi, và phù hợp với các môi trường phòng sạch từ Class 1 đến Class 100.

Ống Nano on Cozy Infrared Home Heating

Bộ nung chế tạo ống nano cacbon

Điều gì quan trọng, về mặt kỹ thuật