Tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng công nghệ hồng ngoại để khử ẩm trong các phòng sạch sản xuất bán dẫn
Phương pháp truyền thống để làm khô và khử ẩm trong các phòng sạch – tức là sử dụng luồng khí và chất dung môi – đã không còn hiệu quả nữa. Mọi thứ đều đang hướng tới các tiêu chuẩn “xanh” và không chứa chì; đó chính là lý do mà công nghệ sưởi bằng hồng ngoại ra đời.
Hãy tưởng tượng xem: các lò sưởi truyền thống tiêu tốn rất nhiều năng lượng để làm nóng không khí, chỉ để sau đó không khí đó mới có thể làm nóng chi tiết cần xử lý. Đó là sự lãng phí. Còn đèn hồng ngoại thì không cần làm vậy. Chúng trực tiếp truyền năng lượng vào chính chi tiết cần xử lý.
Đó là phương pháp hiệu quả, nhanh chóng, và hợp lý.
Loại bỏ yếu tố trung gian
Khi sử dụng công nghệ hồng ngoại, bạn không cần tiêu tốt nhiều năng lượng để làm nóng toàn bộ phòng sạch nữa. Bạn không cần trả tiền để làm nóng không khí xung quanh chi tiết; thay vào đó, bạn chỉ cần làm nóng chính chi tiết đó thôi.
Chúng tôi sử dụng các bộ phát sóng tia ngắn và tia trung bình để tác động vào các vùng cần được xử lý. Thay vì phải chờ vài phút cho lò sưởi hoạt động, giờ đây bạn có thể đạt được nhiệt độ cần thiết chỉ trong vài giây. Chi phí năng lượng cũng giảm đi, và các wafer có thể được xử lý nhanh hơn.
Giữ cho phòng sạch luôn sạch sẽ
Các vật liệu hàn không chứa chì và các loại nhựa thân thiện với môi trường đòi hỏi một môi trường nhiệt độ rất chính xác. Nếu nhiệt độ quá cao, chất liệu sẽ bị hư hỏng; nếu nhiệt độ quá thấp, quá trình xử lý sẽ không hoàn thành. Đó là một khoảng nhiệt độ rất nhạy cảm.
Ưu điểm của công nghệ hồng ngoại là chúng cho phép chúng ta kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Bạn có thể điều chỉnh cường độ nhiệt để đạt được nhiệt độ lý tưởng, mà không gây ra hiện tượng phát sinh các chất gây ô nhiễm. Đó là cách làm việc sạch sẽ hơn nhiều.
Những trade-off cần lưu ý
Tuy nhiên, công nghệ này cũng không phải lúc nào cũng hoàn hảo. Việc truyền nhiệt trực tiếp tuy nhanh, nhưng việc đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt chi tiết lại khá khó khăn.
Nếu chi tiết có những vùng dày và vùng mỏng, thì các vùng mỏng sẽ được làm nóng trước. Bạn không thể chỉ đặt thiết bị vào chỗ cần xử lý rồi bỏ mặc. Bạn cần dành thời gian để điều chỉnh khoảng cách giữa các đèn và sử dụng các vật liệu phản quang để loại bỏ các vùng nóng thừa.
Tin tốt là chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn hồng ngoại này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các lò sưởi cũ. Chúng chiếm ít diện tích hơn và giúp giảm chi phí năng lượng.
Lưu ý: Hãy đảm bảo rằng hệ thống điều khiển của bạn đã sẵn sàng để đối phó với tốc độ phản ứng nhanh của các đèn hồng ngoại. Chúng phản ứng ngay lập tức, không có hiện tượng chậm trễ như các cuộn dây điện trở cũ.