http://cozy-heat-ir.com/uk/tags/removal/ Recent content in Removal on Cozy Infrared Home Heating Hugo uk Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Лампа нагріву для видалення вологи з пластини"></p> <p>На лінії 300 мм пластина потрапляє на bake <a href="https://henruite.com">track</a>, все ще маючи тонкий шар поверхневої вологи. Якщо лампа не зможе швидко та рівномірно видалити цю воду, наступний прохід литографії це покаже — крайовий валик, дефекти резисту та зміщення CD, що відобразиться як втрата виходу за звітом зі звірки. Нагрівальна лампа — не фоновий елемент. Це межа процесу.</p> <p>Ми розробили нашу нагрівальну лампу для видалення вологи з пластини, щоб працювати на цій межі, з конструкцією, яка більше схожа на специфікацію процесу, а не на маркетинговий опис. Вона спроєктована як перевірений еквівалент міжнародним стандартам обладнання для напівпровідників, тому її можна встановити в існуючі bake/track та нанесення покриття без повторної кваліфікації всього теплового стека.</p>