На поверхні плати під час сушіння або випалювання коливання температури не проявляються лише як піки на графіку – вони безпосередньо впливають на якість продукції. Коливання температури на 1°C призводить до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів. Крім того, брудні нагрівачі можуть виділяти частинки, які завдають шкоди продукції. Ми створили напівпровідниковий нагрівач із системою керування типу PID, щоб усунути ці коливання на самому початку процесу.
З технічної точки зору важливо, щоб нагрівач забезпечував стабільну температуру в межах ±0,1°C на всій поверхні плати. Рівномірність нагріву досягається на рівні менше niż ±0,5°C, тож вся поверхня фоторезисту отримує однакове теплове навантаження. Час реакції нагрівача становить менше 300 мс, що дозволяє контролювати процес сушіння та випалювання. Кварцове вікно та корпус нагрівача призначені для роботи в умовах класу 1–100. При робочій температурі нагрівач не виділяє жодних частинок. Протягом 24 годин рівномірність температури залишається на рівні ≤0,2°C – цього достатньо для забезпечення стабільності параметрів процесу.
У процесі сушіння плати швидкий та рівномірний інфрачервоний випромінювання ефективно видаляє вологу з поверхні, не пошкоджуючи саму плату. Це допомагає уникнути дефектів, пов’язаних із поверхневим натягом, а також усуває сліди від випромінювання. У процесі літографії цей же пристрій може використовуватися як для м’якого, так і для жорсткого випалювання, забезпечуючи стабільні параметри процесу. Система керування типу PID компенсує коливання температури, що дозволяє забезпечити стабільність процесу навіть у різні часи доби. Крім того, енергоспоживання зменшується – інфрачервоне випромінювання нагріває саму плату, а не її околиці.
Кілька практичних порад: при монтажі важливо враховувати емісійність та коефіцієнт освітлення. Темні покриття чи екранувальні елементи можуть спричинити локальні точки підвищеної температури, тож ми поставляємо карту калібрування та рекомендуємо перевірити пристрій за допомогою термопрофілятора. Нагрівач працює від стандартних напруг 24 В, а також від напруг 110–240 В. Однак налаштування системи керування типу PID залежать від конкретного застосування. Рекомендується провести короткий тестовий запуск, щоб визначити параметри пристрою для вашого процесу.