http://cozy-heat-ir.com/tr/tags/litografi/ Recent content in Litografi on Cozy Infrared Home Heating Hugo tr Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/tr/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/tr/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ASML litografisi lambası yedek parçası"></p> <p>300 mm hatlarında, <a href="https://o-yate.com">zaten</a> termal bütçeyi zorlayarak çalışıyoruz. Yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma bile fotoresist profilini bozmaya yetiyor. Sert fırınlamadaki düzensizlikler ise istenmeyen yerlerde ortaya çıkıyor; örneğin kenarlarda kalıntılar oluşuyor. Bu tür sapmalar sadece işlem hızını yavaşlatmakla kalmaz, aynı zamanda atık üretimine de neden olur. Bu sorunları ortadan kaldırmak için ASML litografi lambalarının yedeklerini kullanıyoruz.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong> ASML platformunun termal davranışlarını, fotoresist fırınlaması için optimize edilmiş kısa dalga ve orta dalga güçleriyle eşleştiriyoruz. Fırınlama yüzeyindeki düzenlilik ±0,1°C civarında oluyor ve döngüden döngüye tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C içinde kalıyor. Bu lambalar, parça üretmemesi açısından 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanılıyor ve bu durum yerinde doğrulanmıştır. Lambalar 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’in altında bir verimle çalışabiliyorlar. Ayrıca voltajlar ve bağlantı noktaları ASML cihazlarının arayüzleriyle uyumlu olduğundan, lamba değişimi sırasında herhangi bir ayar yapılmasına gerek kalmıyor.</p>