หยุดปัญหาการแตกของหลอดไฟ: รักษาความสะอาดของวาเฟอร์ให้อยู่ในสภาพดี ในกระบวนการผลิตที่มีปริมาณมาก การที่หลอดไฟแตกถือเป็นปัญหาใหญ่มาก...

บนพื้นโรงงานคุณทราบดีถึงขั้นตอนที่ต้องปฏิบัติ: การอบ photoresist ที่มีการเปลี่ยนแปลงแม้เพียง 0.2°C...