http://cozy-heat-ir.com/ru/tags/%D1%83%D0%B4%D0%B0%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5/ Recent content in Удаление on Cozy Infrared Home Heating Hugo ru Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Лампа нагревателя для удаления влаги с пластин"></p> <p>На линии 300 мм пластина поступает на bake <a href="https://henruite.com">track</a>, всё ещё покрытая тонкой плёнкой поверхностной влаги. Если лампа не способна быстро и равномерно удалить эту влагу, следующий проход литографии отразит это — образование кромочного валика, дефекты резиста и дрейф CD, что проявляется в виде потерь выхода продукции в отчёте сверки. Нагревательная лампа — не фоновый элемент. Это лимит процесса.</p> <p>Мы разработали нашу нагревательную лампу для удаления влаги с пластины, чтобы работать на этом лимите, с конструкцией, которая соответствует спецификации процесса, а не маркетинговому описанию. Она спроектирована как проверенный эквивалент международным стандартам оборудования для полупроводников, что позволяет интегрировать её в существующие bake/track и покрытия без повторной квалификации всего теплового стека.</p>