http://cozy-heat-ir.com/ru/tags/%D1%83%D0%B3%D0%BB%D0%B5%D1%80%D0%BE%D0%B4/ Recent content in Углерод on Cozy Infrared Home Heating Hugo ru Thu, 23 Jul 2026 12:27:08 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/carbon-fiber-infrared-lamp-fab/ Thu, 23 Jul 2026 12:27:08 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/carbon-fiber-infrared-lamp-fab/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Фабрика инфракрасных ламп из углеродного волокна"></p> <p>Почему мы используем золото для нагрева кремниевых пластин<br> При нагреве кремниевых пластин любая энергия, которая не попадает на цель, является бесполезной тратой средств. Что ещё хуже, эта лишняя энергия начинает проникать в корпус оборудования, а это совсем не то, чего хочется.</p> <p>Чтобы избежать этого, мы сочетаем инфракрасные лампы из углеродного волокна с отражателями, покрытыми золотом. Алюминиевые отражатели тоже подходят – они справляются с задачей неплохо. Но золото? Золото находится на совершенно другом уровне.</p> <p><strong>Секрет заключается в способности золота отражать инфракрасное светило.</strong> Золото отражает инфракрасный свет гораздо лучше, чем алюминий или серебро. Мы наносим тонкий слой золота на поверхность отражателя, чтобы он мог перехватить фотоны, которые иначе просто рассеялись бы в вакууме. В результате получается точка сильного нагрева, что позволяет быстрее достичь нужной температуры. Это эффективно и просто.</p> http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Нагреватель для производства углеродных нанотрубок"></p> <p>На литографическом участке стадия запекания фоторезиста — это момент, когда тепловой бюджет превращается в контроль ширины линий. Даже незначительное отклонение температуры софт-бейка на 1 градус меняет процесс удаления растворителя. А если твердый запек выполняется с неоднородностью по всей подложке, о точной однородности CD можно забыть. Именно здесь нагреватели с нанотрубками из углерода показывают свою эффективность.</p> <h2 id="что-важно-с-технической-точки-зрения">Что важно с технической точки зрения</h2> <p>Эти нагреватели построены на основе коротковолнового инфракрасного излучения с источником на углеродных нанотрубках. Они быстро достигают заданной температуры и поддерживают ее стабильно. В результате тепловое поле по плоскости подложки получается однородным в пределах субмиллиметра, с однородностью по подложке ±0.1°C при типичных температурах запекания фоторезиста.<br> Повторяемость поддерживается с дрейфом менее 0.05°C от установочного значения за 24 часа, что гарантирует одинаковый температурный профиль для каждой партии. Система сохраняет чистоту, не генерирует частицы и адаптирована для использования в чистых помещениях классов от Class 1 до Class 100.</p>