http://cozy-heat-ir.com/ru/tags/%D0%BD%D0%B0%D0%BD%D0%BE%D1%82%D1%80%D1%83%D0%B1%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Нанотрубка on Cozy Infrared Home Heating Hugo ru Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ru/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Нагреватель для производства углеродных нанотрубок"></p> <p>На литографическом участке стадия запекания фоторезиста — это момент, когда тепловой бюджет превращается в контроль ширины линий. Даже незначительное отклонение температуры софт-бейка на 1 градус меняет процесс удаления растворителя. А если твердый запек выполняется с неоднородностью по всей подложке, о точной однородности CD можно забыть. Именно здесь нагреватели с нанотрубками из углерода показывают свою эффективность.</p> <h2 id="что-важно-с-технической-точки-зрения">Что важно с технической точки зрения</h2> <p>Эти нагреватели построены на основе коротковолнового инфракрасного излучения с источником на углеродных нанотрубках. Они быстро достигают заданной температуры и поддерживают ее стабильно. В результате тепловое поле по плоскости подложки получается однородным в пределах субмиллиметра, с однородностью по подложке ±0.1°C при типичных температурах запекания фоторезиста.<br> Повторяемость поддерживается с дрейфом менее 0.05°C от установочного значения за 24 часа, что гарантирует одинаковый температурный профиль для каждой партии. Система сохраняет чистоту, не генерирует частицы и адаптирована для использования в чистых помещениях классов от Class 1 до Class 100.</p>