Na linii 300 mm już teraz mamy poważne problemy z termicznym bilansem. Nawet pół stopnia odchylenia przy procesie delikatnego wiązania wystarczy, by...

W linii produkcyjnej o długości 300 mm nie można tolerować żadnych odchyleń podczas procesu delikatnego wysuszania fotorezystu, ani też wzrostu...