http://cozy-heat-ir.com/ms/tags/nanotube/ Recent content in Nanotube on Cozy Infrared Home Heating Hugo ms Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ms/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ms/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Pemanas fabrikasi nanotube karbon"></p> <p>Pada lantai litografi, pembakaran photoresist adalah di mana bajet terma anda berubah menjadi kawalan lebar garis. Perubahan suhu soft bake walaupun satu darjah mempengaruhi bagaimana pelarut dikeluarkan. Dan jika hard bake tidak konsisten merentasi wafer, ketepatan uniformiti dimensi kritikal (CD) tidak akan tercapai. Di sinilah pemanas fabrikasi nanotube karbon menunjukkan kebergunaannya.</p> <h2 id="apa-yang-penting-secara-teknikal">Apa yang penting, secara teknikal</h2> <p>Kami membina pemanas ini berdasarkan inframerah gelombang pendek dengan pemancar nanotube karbon. Ia mencapai titik suhu dengan cepat dan mengekalkan kestabilan. Keputusan yang diperoleh adalah medan haba merata di seluruh satah wafer dalam jarak kurang dari sub-milimeter, dengan uniformiti peringkat wafer ±0.1°C pada suhu pembakaran photoresist biasa.<br> Pengulangan tepat dicapai dengan drift setpoint-ke-setpoint di bawah 0.05°C dalam tempoh 24 jam, jadi setiap lot mendapat profil terma yang sama. Sistem ini kekal bersih, menghasilkan sifar partikel, dan sesuai dengan persekitaran <a href="https://henruite.com">bilik</a> bersih kelas dari Class 1 hingga Class 100.</p>