http://cozy-heat-ir.com/ms/tags/litografi/ Recent content in Litografi on Cozy Infrared Home Heating Hugo ms Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ms/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ms/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Alat ganti untuk lampu litografi ASML"></p> <p>Pada garisan 300mm ini, kita sebenarnya sudah <a href="https://goldisgood.com">menggunakan</a> sepenuhnya kapasiti terma yang ada. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran boleh menyebabkan perubahan pada profil lapisan fotoresist. Selain itu, ketidseragaman suhu semasa proses pembakaran akan menyebabkan adanya lapisan sisa di bahagian tepi wafer. Perubahan suhu seperti ini bukan sahaja memperlahankan proses pengeluaran, tetapi juga mengakibatkan pembaziran bahan. Kami menggunakan lampu-lampu ganti dari ASML untuk mengurangkan variasi tersebut dalam proses pengeluaran.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikalnya:</strong> Kita perlu menyesuaikan tingkah laku termal platform ASML dengan output gelombang pendek dan sederhana yang sesuai untuk proses pembakaran fotoresist. Di seluruh permukaan wafer, tahap seragaman suhu kekal pada ±0.1°C, manakala kebolehulangan pula kekal dalam lingkungan ±0.2°C dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Lampu-lampu ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100 tanpa menambahkan zarah-zarah tertentu, dan hal ini telah disahkan secara langsung. Lampu-lampu ini direka untuk beroperasi 24/7, selama lebih dari 5,000 jam, sambil memastikan outputnya tetap stabil dalam lingkungan 5%. Oleh kerana voltan dan sambungan lampu ini sesuai dengan antaramuka alat ASML, maka lampu ganti ini boleh digunakan tanpa perlu melakukan penyesuaian lagi.</p>