Di kilang pembuatan, proses pemanggangan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat penting yang perlu dipenuhi. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanggangan akan menyebabkan perubahan pada dimensi bahan tersebut, seterusnya menimbulkan kecacatan dan membuang wafer tersebut ke tong sampah. Lampu yang digunakan dalam proses ini perlu menghasilkan haba yang konsisten dan boleh diramalkan, dari waktu ke waktu.
Apa yang penting di sebaliknya… Kami telah mencipta lampu SiC yang menggunakan gelombang inframerah pendek, agar dapat memberikan pemanasan yang cepat pada permukaan wafer. Kestabilan suhu pula dikekalkan pada tahap ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Badan lampu ini direka khas untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih, dengan standard ISO Class 1–100. Kami menggunakan bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, serta reka bentuk yang mampu mengelakkan kehadiran zarah-zarah berbahaya. Tidak ada zarah berbahaya yang dihasilkan – ini dibuktikan melalui ujian kualiti yang dilakukan secara berkala. Hasilnya, profil pemanggangan menjadi lebih stabil, prosesnya lebih tepat, dan prestasi bahan fotoresist tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi dan penggunaan bahan fotoresist… Proses litografi dan penggunaan bahan fotoresist memerlukan kawalan suhu yang sangat ketat. Lampu yang digunakan perlu mampu mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, mengekalkannya tanpa perubahan, dan memastikan suhu turun dengan cepat supaya langkah-langkah seterusnya tidak terjejas. Lampu SiC ini dapat mengurangkan masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang ditetapkan, mengurangkan kelewatan suhu, dan memastikan konsistensi proses dari waktu ke waktu. Dengan ini, jumlah kerja ulang dapat dikurangkan, kadar kejayaan proses meningkat, dan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses dapat dirancang dengan lebih baik. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana tenaga yang digunakan digunakan sepenuhnya untuk tujuan pemanasan, tanpa pembaziran. Selain itu, jangka hayat lampu yang panjang memastikan tiada gangguan dalam proses pengeluaran.
Butiran praktikal yang perlu diberi perhatian… Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian geometri port furnace serta pengesahan antaramuka elektrik – voltan, jenis sambungan, dan sistem penggrounding – agar tidak berlaku masalah seperti pemanasan berlebihan atau ketidaksepadanan antara komponen-komponen tersebut. Lampu ini akan berfungsi dengan lebih baik apabila geometri reflektor di dalam chamber sepadan dengan pola pelepasan cahaya dari lampu tersebut. Jika terdapat ketidaksepadanan, kesaksamaan suhu akan terjejas. Adalah penting untuk melakukan ujian awal untuk menentukan profil pemanggangan yang sesuai. Setelah itu, lampu ini boleh beroperasi 24/7 dengan perubahan output yang minimum. Namun, pemeriksaan kkalibrasi masih perlu dilakukan secara berkala untuk memastikan proses berjalan mengikut spesifikasi yang ditetapkan.