Hentikan pembaziran tenaga dalam bilik vakum anda
Sejujurnya, pembaziran tenaga dalam bilik vakum merupakan masalah reka bentuk yang buruk.
Ketika kita memanaskan wafer silikon, setiap watt tenaga yang tidak sampai ke permukaan wafer tersebut merupakan pembaziran. Tenaga tersebut akan digunakan untuk memanaskan dinding bilik vakum, sehingga sistem penyejukan perlu bekerja lebih keras tanpa sebab. Itulah sebabnya kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Tujuannya adalah untuk memastikan haba tetap berada di tempat yang sepatutnya.
Mengapa menggunakan emas?
Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi masalahnya ialah bahan ini membiarkan terlalu banyak tenaga inframerah meresap masuk.
Kita menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi kerana ia mampu menangani tenaga inframerah berfrekuensi tinggi dan sederhana dengan lebih baik. Reflektor ini tidak hanya memantulkan cahaya, tetapi juga mengarahkan tenaga tersebut terus ke wafer. Oleh kerana reflektor ini tidak menyerap tenaga tersebut, hampir semua tenaga akan sampai ke sasaran.
Rahsia untuk mencapai kepadatan haba yang tinggi
Untuk mencapai kepadatan haba yang tinggi pada wafer, kita perlu mencari keseimbangan antara kuasa lampu dan bentuk reflektor. Jika kita menggunakan lampu berkekuatan tinggi tanpa reflektor yang sesuai, ia akan menyebabkan haba yang tidak seragam. Sistem yang menggunakan reflektor berlapis emas dapat membantu mencapai suhu yang diinginkan dengan lebih cepat, dan kita tidak perlu meningkatkan voltan terlalu tinggi sehingga filamen lampu rosak.
Kelemahan penggunaan emas
Emas merupakan bahan yang paling sesuai untuk tujuan ini, tetapi ia bukanlah bahan yang tidak boleh rosak. Permukaan emas sangat sensitif. Jika proses pengeluaran menggunakan gas korosif atau terdapat banyak gas yang dilepaskan, lapisan emas boleh rosak. Kita perlu memastikan bilik vakum sentiasa bersih. Jika ada lapisan kotoran pada reflektor, kecekapan sistem akan menurun, dan kita perlu menggunakan lebih banyak tenaga untuk mengekalkan suhu wafer pada tahap yang sama.
Satu lagi tips: Sambungkan unit ini ke sumber kuasa yang stabil. Elakkan lonjakan voltan. Arus yang stabil akan memastikan spektrum pelepasan tenaga tetap konsisten, dan itulah cara untuk memastikan haba tersebar secara seragam di seluruh permukaan wafer.