http://cozy-heat-ir.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EA%B1%B0/ Recent content in 제거 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ko Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="웨이퍼 수분 제거 히터 램프"></p> <p>300 mm 라인에서 웨이퍼는 표면에 얇은 수분막을 그대로 지닌 채 베이크 트랙에 진입한다. 램프가 그 수분을 빠르고 고르게 제거하지 못하면, 다음 리소그래피 공정에서 에지 비드, 레지스트 결함, 그리고 CD 드리프트가 발생하며, 이는 리컨실리에이션 리포트 상에서 수율 손실로 나타난다. 히터 램프는 단순한 배경 부품이 아니라 공정 한계에 해당한다.</p>