http://cozy-heat-ir.com/ko/tags/%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BC/ Recent content in 리소그래피 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ASML 리소그래피 램프 부품"></p> <p>300mm 공정에서는 이미 열 관리에 많은 노력이 필요합니다. 소프트 베이크 과정에서 단 0.5도의 온도 변동만으로도 포토레지스트의 특성이 변할 수 있으며, 하드 베이크 과정에서는 원하지 않는 부분에 불균일성이 발생합니다. 그러한 변동은 작업 속도를 저하시킬 뿐만 아니라, 결국 폐기물로 이어집니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 ASML 리소그래피 램프의 예비 부품들을 활용합니다.</p>