http://cozy-heat-ir.com/ko/tags/%EB%82%98%EB%85%B8%ED%8A%9C%EB%B8%8C/ Recent content in 나노튜브 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="탄소 나노튜브 제작 히터"></p> <p>리소그래피 공정의 포토레지스트 베이크 단계는 열 예산이 선폭 제어로 전환되는 순간이다. 소프트 베이크에서 1도만 벗어나도 용매 제거 방식이 바뀐다. 그리고 하드 베이크가 웨이퍼 전반에 걸쳐 일정하지 않으면, 엄격한 CD 균일도는 기대할 수 없다. 바로 이 지점에서 탄소 나노튜브 제조용 히터가 제 역할을 수행한다.</p>