http://cozy-heat-ir.com/ko/tags/%EA%B8%B4%EC%9E%A5/ Recent content in 긴장 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 09:52:52 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:52:52 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ko/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="와이퍼 표면 장력 측정용 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C 정도의 온도 차이가 발생할 수 있으며, 이로 인해 오버레이 마진과 CD 제어가 손상될 수 있습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 방식으로도 불균일한 열분포를 해결할 수 없습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 웨이퍼 표면의 온도를 일정하게 유지할 수 있는 히터를 개발했습니다. 이 히터를 사용하면 척 전체에서 온도 변동이 ±0.1°C 이내로 유지됩니다.</p>