http://cozy-heat-ir.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Cozy Infrared Home Heating Hugo ja Wed, 15 Jul 2026 10:09:58 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 15 Jul 2026 10:09:58 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ加工装置用温度センサー"></p> <p>ウェーハ処理に不要なエネルギーを浪費するのはやめましょう。<br> シリコンウェーハを加熱する際、無駄に消費される1ワットたりとも、単なる無駄な出費に過ぎません。<br> 問題は、通常の赤外線ランプではエネルギーがあちこちに散乱してしまうことです。しかし、ウェーハ処理装置では、基板に届く熱だけが重要です。それ以外のエネルギーは無意味です。これを解決するために、金メッキ技術が用いられます。つまり、エネルギーが装置の本体に漏れ出るのを防ぎ、再びウェーハに戻すのです。</p>