http://cozy-heat-ir.com/ja/tags/ic/ Recent content in IC on Cozy Infrared Home Heating Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:36:20 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Mon, 08 Jun 2026 05:36:20 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="IC用コンパクト赤外線乾燥機"></p> <p>ファブフロアでは基本がわかっているはずだ。たとえフォトレジストのベーク温度が0.2℃ズレるだけで、クリティカルディメンションコントロールがオフスペックとなり、歩留まりに影響を与えてしまう。パーティクルの<a href="https://henruite.com">発生</a>や予期せぬ稼働停止を伴わず、繰り返し安定した熱処理が必要だ。</p> http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/short-wave-infrared-lamp-for-ic/ Thu, 04 Jun 2026 04:03:44 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/short-wave-infrared-lamp-for-ic/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="IC用短波長赤外線ランプ"></p> <h1 id="ファブフロアでは素早く学ぶベイク温度の01cのずれが重要寸法をナノメートル単位で変動させ数時間に及ぶリソグラフィ工程を無駄にすることがあるフォトレジスト処理ソフトベイクハードベイクポストエクスポージャーベイクを運用する際ウェハーレベルの熱均一性はあってもいいものではなく歩留まりを左右する重要な門である">ファブフロアでは素早く学ぶ：ベイク温度の0.1°Cのずれが、重要寸法をナノメートル単位で変動させ、数時間に及ぶリソグラフィ工程を無駄にすることがある。フォトレジスト処理（ソフトベイク、ハードベイク、ポストエクスポージャーベイク）を運用する際、ウェハーレベルの熱均一性は「あってもいいもの」ではなく、歩留まりを左右する重要な門である。</h1> <p>ここで頼りにしているのが、ショートウェーブ赤外線（SWIR）ランプだ。これによりスタック内部に直接かつ迅速に熱を投入し、ウェハ全体の均一性を±0.1°C以内に保つ。石英エンベロープとリフレクターの形状が熱プロファイルを安定化させ、ランプ出力はサイクルごとに再現性を維持する。</p>