http://cozy-heat-ir.com/ja/tags/%E9%99%A4%E5%8E%BB/ Recent content in 除去 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ja Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェハー乾燥用ヒーターランプ"></p> <p>300 mmラインでは、ウェハがベイクトラックに到達した時点で、表面に薄い水分の皮膜が残っています。もしランプがその水分を迅速かつ均一に除去できなければ、次のリソグラフィ工程で問題が顕在化します。エッジビード、レジスト欠陥、CDドリフトが発生し、調整報告書に歩留まり低下として現れます。ヒータランプは単なる背景部品ではなく、プロセスの限界要素です。<br> 我々はウェハの水分除去用ヒータランプを、その限界条件下で機能するよう設計しました。設計はマーケティング資料ではなく、プロセス仕様書のように示されています。国際半導体装置基準に準拠した検証済みの同等品として設計されているため、既存のベイク／トラックおよびコーティング装置に組み込んでも、熱スタック全体の再認証は不要です。</p>