http://cozy-heat-ir.com/ja/tags/%E8%A1%A8%E9%9D%A2/ Recent content in 表面 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 09:52:51 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:52:51 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハ表面張力測定用ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、ウェーハ全体で0.5℃もの温度差が生じると、オーバーレイマージンやCDコントロールに悪影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクでは、不均一な温度分布は許されません。私たちは、このような問題を<a href="https://o-yate.com">解決</a>するために、ウェーハ表面の張力を測定するヒーターを開発しました。これにより、チャック全体での温度のばらつきを±0.1℃以内に抑えることができます。</p>