http://cozy-heat-ir.com/ja/tags/%E7%82%89/ Recent content in 炉 on Cozy Infrared Home Heating Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 01:23:00 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/silicon-carbide-sic-furnace-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 01:23:00 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/silicon-carbide-sic-furnace-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="炭化ケイ素 SiC ファーネスランプ"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの焼成は単なる推奨事項ではなく、必ず守らなければならない規格です。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、ウェーハの寸法に不具合が生じ、欠陥が発生し、最悪の場合はウェーハが廃棄処分されてしまいます。したがって、炉内のランプは、シフトを重ねても安定した熱を供給できる必要があります。</p> http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Thu, 18 Jun 2026 04:58:11 +0800 http://cozy-heat-ir.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="LPCVD炉の加熱素子"></p> <p>製造現場では、LPCVD炉には熱的なずれを繰り返す余裕はありません。一度でもずれが生じると、膜の厚みが均一でなくなったり、ドーピングされた部分が正しい位置に形成されなかったりして、結果として廃棄されるウェーハが増えてしまいます。私たちは、毎回同じ品質を維持するために、加熱要素をしっかりと設計しました。</p>