Riscaldatore per la fabbricazione di nanotubi di carbonio

Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800

Sul piano di litografia, la cottura del fotoresist è dove il tuo budget termico si traduce in controllo della larghezza della linea. La deriva della cottura morbida anche di un grado cambia il modo in cui il solvente si elimina. E se la cottura dura non è coerente su tutta la wafer, puoi dimenticare l’uniformità del CD stretto. È esattamente in questo contesto che i riscaldatori in nanotubi di carbonio dimostrano il loro valore.

Cosa conta, tecnicamente

Abbiamo costruito questi riscaldatori attorno all’infrarosso a onda corta con un emettitore in nanotubi di carbonio. Raggiungono rapidamente il punto di setpoint e mantengono una stabilità costante. Il risultato è un campo termico su tutto il piano della wafer che è uniforme entro un sub-millimetro, con un’uniformità a livello wafer di ±0.1°C a temperature tipiche di cottura del fotoresist. La ripetibilità è inferiore a 0.05°C di deriva da setpoint a setpoint nell’arco di 24 ore, quindi ogni lotto riceve lo stesso profilo termico. Il sistema rimane pulito, generando zero particelle, e si adatta a ambienti cleanroom da Classe 1 a Classe 100.

Nanotubo on Cozy Infrared Home Heating

Riscaldatore per la fabbricazione di nanotubi di carbonio

Cosa conta, tecnicamente