Smettete di sprecare calore nella vostra camera a vuoto
Siamo onesti: sprecare energia all’interno di una camera a vuoto è semplicemente un errore nella progettazione dello strumento stesso.
Quando si riscaldano i wafer di silicio, ogni singolo watt di energia che non viene utilizzato per riscaldare il substrato rappresenta uno spreco. Questa energia finisce per riscaldare le pareti della camera, costringendo il sistema di raffreddamento a lavorare il doppio, senza alcun motivo. Ecco perché utilizziamo riflettori rivestiti d’oro: in questo modo il calore rimane esattamente dove deve essere.
Perché scegliere l’oro?
La maggior parte delle persone inizia con riflettori in alluminio, ma il problema è che questi permettono alla maggior parte dell’energia infrarossa di passare attraverso di essi. Noi utilizziamo uno strato d’oro ad alta purezza, poiché riesce a gestire meglio le onde infrarosse a lunga e media lunghezza. Non si limita a riflettere la luce, ma la dirige direttamente sul wafer. Poiché il riflettore non assorbe l’energia stessa, quasi tutta l’energia raggiunge effettivamente il wafer.
Il trucco per ottenere una densità di calore elevata
Raggiungere una densità di calore elevata sul wafer richiede un equilibrio preciso tra la potenza della lampada e la forma del riflettore. Se si utilizza una lampada ad alta potenza senza un riflettore in oro di qualità, si creano zone di riscaldamento innaturali e un riscaldamento disomogeneo. I nostri sistemi rivestiti d’oro permettono di concentrare meglio il calore sul wafer. In questo modo si raggiungono più rapidamente le temperature desiderate, senza dover aumentare eccessivamente la tensione, altrimenti il filamento potrebbe danneggiarsi.
L’aspetto negativo (perché c’è sempre uno…)
L’oro è lo strumento migliore per questo scopo, ma non è indistruttibile. Queste superfici sono sensibili: se nel processo vengono utilizzati gas corrosivi o se avviene un’elevata emissione di gas, lo strato d’oro può deteriorarsi. È quindi necessario mantenere la camera pulita. Se si forma uno strato di sporco sul riflettore, l’efficienza del sistema diminuisce, e sarà necessario utilizzare più energia per mantenere il wafer alla stessa temperatura.
Un ultimo consiglio: collegate questi dispositivi a una fonte di alimentazione stabile. Bisogna evitare sbalzi di tensione. Una corrente costante garantisce uno spettro di emissione uniforme, il che è fondamentale per assicurare che il calore sia distribuito uniformemente su tutto il wafer.