http://cozy-heat-ir.com/id/tags/litografi/ Recent content in Litografi on Cozy Infrared Home Heating Hugo id Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/id/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/id/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Suku cadang lampu litografi ASML"></p> <p>Pada garis produksi berukuran 300 mm ini, kita sudah menggunakan batas kemampuan termal yang ada. Perubahan suhu sebesar setengah derajat saja sudah cukup untuk mengganggu profil lapisan fotoresist. Ketidakseragaman suhu saat proses pembakaran juga akan menyebabkan munculnya lapisan residu di bagian tepi wafer. Hal seperti ini tidak hanya memperlambat proses produksi, tetapi juga menyebabkan limbah yang tidak diinginkan. Kami menggunakan lampu-lampu pengganti dari ASML untuk mengurangi variabilitas tersebut dalam proses produksi.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis:</strong> Kami menyesuaikan perilaku termal dari platform ASML dengan output gelombang pendek dan menengah yang cocok untuk proses pembakaran fotoresist. Di seluruh permukaan wafer, tingkat <a href="https://o-yate.net">keseragaman</a> suhu tetap pada kisaran ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitasnya tetap dalam kisaran ±0,2°C dari siklus ke siklus. Lampu-lampu ini dapat beroperasi di ruang bersih kelas 1–100 tanpa menambah partikel-partikel pengganggu, dan hal ini telah diverifikasi secara langsung. Lampu-lampu ini dirancang untuk beroperasi 24/7, selama lebih dari 5.000 jam, dengan tingkat ketidakkonsistenan output kurang dari 5%. Karena tegangan dan konektor lampu ini sesuai dengan antarmuka peralatan ASML, maka penggantian lampu dapat dilakukan tanpa perlu proses kalibrasi ulang.</p>