Pabrik lampu inframerah berbahan serat karbon

Thu, 23 Jul 2026 12:27:08 +0800

Mengapa kita menggunakan emas untuk memanaskan wafer silikon
Saat memanaskan wafer silikon, setiap watt energi yang tidak digunakan untuk memanaskan wafer tersebut merupakan pemborosan uang. Lebih buruk lagi, panas yang bersifat “tidak terpakai” tersebut akan meresap ke dalam kerangka mesin, yang tentu saja bukan hal yang diinginkan.

Untuk mencegah hal ini, kita menggunakan lampu inframerah berbahan serat karbon, yang dikombinasikan dengan reflektor berlapis emas. Reflektor berbahan aluminium juga cukup efektif, tetapi emas jauh lebih unggul.

Pemanas fabrikasi nanotube karbon

Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800

Di lantai litografi, pemanggangan fotoresist adalah di mana anggaran termal Anda berubah menjadi kontrol lebar garis. Drifting soft bake bahkan satu derajat mengubah cara pelarut dibersihkan. Dan jika hard bake tidak konsisten di seluruh wafer, Anda bisa melupakan keseragaman CD yang ketat. Itulah tepatnya di mana pemanas fabrikasi karbon nanotube mendapatkan fungsinya.

Apa yang penting, secara teknis

Kami membangun pemanas ini di sekitar inframerah gelombang pendek dengan pemancar karbon nanotube. Mereka mencapai titik yang ditentukan dengan cepat dan mempertahankannya dengan stabil. Hasilnya adalah bidang termal di seluruh bidang wafer yang seragam dalam sub-milimeter, dengan keseragaman tingkat wafer ±0.1°C pada suhu pemanggangan fotoresist yang tipikal. Keterulangan berada di bawah 0.05°C drift dari titik ke titik selama 24 jam, sehingga setiap lot mendapatkan profil termal yang sama. Sistem tetap bersih, menghasilkan nol partikel, dan cocok untuk lingkungan cleanroom dari Kelas 1 hingga Kelas 100.

Karbon on Cozy Infrared Home Heating

Pabrik lampu inframerah berbahan serat karbon

Pemanas fabrikasi nanotube karbon

Apa yang penting, secara teknis