कार्बन नैनोट्यूब निर्माण हीटर

Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800

On the lithography floor, photoresist bake is where your thermal budget turns into line-width control. Soft bake drifting by even a degree changes how the solvent clears out. And if hard bake isn’t consistent across the wafer, you can forget about tight CD uniformity. That’s exactly where carbon nanotube fabrication heaters earn their keep.

Technical रूप से महत्वपूर्ण क्या है

हमने इन हीटरों को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड के चारों ओर कार्बन नैनोट्यूब एमिटर के साथ बनाया है। ये सेटपॉइंट तक तेजी से पहुँचते हैं और स्थिर रहते हैं। परिणामस्वरूप, वेफर सतह पर एक थर्मल क्षेत्र बनता है जो अधिमिलीमीटर के भीतर एकसमान होता है, और सामान्य फोटोरेसिस्ट बेक तापमानों पर वेफर-स्तरीय एकरूपता ±0.1°C तक होती है।
दोहराव 24 घंटे में सेटपॉइंट-से-सेटपॉइंट ड्रिफ्ट 0.05°C से कम है, जिससे प्रत्येक बैच में समान थर्मल प्रोफाइल मिलता है। सिस्टम साफ रहता है, कोई कण उत्पन्न नहीं करता, और यह Class 1 से Class 100 क्लीनरूम वातावरण के अनुकूल है।

नैनोट्यूब on Cozy Infrared Home Heating

कार्बन नैनोट्यूब निर्माण हीटर

Technical रूप से महत्वपूर्ण क्या है