फैब फ्लोर पर, आप प्रक्रिया से परिचित हैं: एक फोटोरेसिस्ट बेक जिसमें 0.2°C का भी बदलाव हो जाए तो यह क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल को ऑफ-स्पेक कर सकता है...

फैब फ्लोर पर जल्दी सीखना पड़ता है: बेक तापमान में 0.1°C का परिवर्तन नैनोमीटर स्तर पर महत्वपूर्ण आयाम को बदल सकता है और घंटों की लिथोग्राफी कार्यवाही...