http://cozy-heat-ir.com/he/tags/removal/ Recent content in Removal on Cozy Infrared Home Heating Hugo he Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 05:15:36 +0800 http://cozy-heat-ir.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="נורת חימום להסרת לחות מהוופל"></p> <p>בקו ה-300 מ&quot;מ, הוופר פוגע ב-bake track בעודו נושא שכבה דקה של לחות על פני השטח. אם המנורה לא מצליחה להסיר את המים במהירות ובאופן אחיד, המעבר הבא בליתוגרפיה יציג את הבעיה — bead בקצה, ליקויים ב-resist, וסטייה ב-CD שמתבטאת בהפסדי ייצור בדוח הפשרה. מנורת החימום אינה חלק משני בתהליך. היא מהווה גבול תפעולי.</p> <p>בנינו את מנורת החימום להסרת לחות מהוופר כך שתפעל בגבול זה, עם עיצוב שמתבסס על מפרט תהליך ולא על עלון שיווקי. היא מהונדסת כמקבילה מאומתת לתקני ציוד סמי-מוליכים בינלאומיים, כך שניתן לשלב אותה בכלי bake/track וציפוי קיימים מבלי לדרוש אישור מחודש לכל ערמת החום.</p>