http://cozy-heat-ir.com/he/tags/asml/ Recent content in ASML on Cozy Infrared Home Heating Hugo he Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/he/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/he/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="חלקי חילוף לנורות הליתוגרפיה של ASML"></p> <p>בקו ה-300 ממ, אנו כבר נאלצים להתמודד עם בעיות תרמיות חמורות. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינויים במאפייני הפוטורזיסט; בנוסף, אי-אחידות בטמפרטורת האפייה גורמת להיווצרות של שכבות לא רצויות בקצוות השבב. שינויים כאלה לא רק מאטים את התהליך, אלא גם גורמים לבזבוז חומרים. אנו משתמשים בנורות חלופיות של ASML כדי להפחית את השונות בתהליך.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו מתאימים את ההתנהגות התרמית של מערכת ASML לפלט של גלים קצרים ובינוניים, כך שהטמפרטורות הנדרשות לאפיית הפוטורזיסט יהיו מדויקות. על פני שטח האפייה, האחידות נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות נשמרת בטווח של ±0.2°C ממחזור למחזור. נורות אלה פועלות בחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים, וזה מאושר באופן מיידי. הן מיועדות לפעולה 24/7 – למשך 5,000 שעות ויותר, תוך שמירה על רמת פלט בטווח של 5%. בנוסף, מכיוון שהמתחים והחיבורים של הנורות תואמים את אלו של מכשירי ASML, ניתן להחליף אותן מבלי צורך בבדיקות נוספות.</p>