מכשיר למדידת מתח פני השטח של וופרים

על גבי שטח הליתוגרפיה, נקודת חום בטמפרטורה של 0.5°C על פני הוואפר יכולה לפגוע באיכות השכבה העליונה שנמצאת על הוואפר, וכן בשליטה ברמת ה-CD. שימוש...