Pourquoi utilisons-nous des boîtiers recouverts d’or pour éviter le gaspillage d’énergie ?
Lors du traitement des wafer à semi-conducteurs, chaque watt compte. Si les parois du boîtier absorbent la chaleur au lieu de la renvoyer, cela revient à gaspiller de l’argent et à risquer de perturber l’uniformité thermique du système. C’est pourquoi nous utilisons du acier inoxydable recouvert d’or. C’est une solution simple pour résoudre ce problème : nous voulons que toute l’énergie infrarouge atteigne directement le wafer, et non pas les parois du boîtier.
Le pouvoir magique de l’or
L’acier inoxydable poli est acceptable : il reflète une partie de la chaleur. Mais lorsqu’il s’agit de longueurs d’onde courtes émises par des lampes infrarouges à haute intensité, cet état n’est plus suffisant. L’or, lui, reflète plus de 98 % de cette énergie infrarouge. En ajoutant un fin revêtement en or à l’intérieur du boîtier, nous transformons littéralement celui-ci en un miroir à haute performance. Ainsi, l’énergie reste concentrée là où elle doit être, sans que le boîtier ne s’échauffe inutilement.
Comment les fabriquons-nous ?
Nous commençons par de l’acier inoxydable : c’est un matériau résistant, capable de supporter le poids, et qui ne se détériore pas lorsque la température monte. Ensuite, nous ajustons sa géométrie afin de concentrer le rayonnement thermique. Le résultat ? Les wafer atteignent plus rapidement la température souhaitée. C’est un vrai avantage pour les temps de traitement. Mais il y a un hic : l’or est fragile. Si le processus utilise des gaz corrosifs ou que le boîtier se salit, le revêtement en or commence à s’usurer. La réflexion de la lumière diminue, ce qui entraîne une baisse de l’efficacité du système. Il est donc essentiel de bien protéger cette surface en or pour qu’elle reste intacte.
Installer ces composants dans votre ligne de production
L’installation est une étape délicate. Il faut être précis. Si la lampe n’est pas centrée, même de quelques millimètres, le point focal change. Résultat : des zones chaudes apparaissent sur les wafer, ce qui nuit à leur qualité. Nous avons conçu ces composants pour remplacer facilement vos modules thermiques existants. Mais vérifiez d’abord que votre alimentation électrique peut gérer la charge maximale. Enfin, assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement fonctionnent correctement. Une partie de la chaleur finit toujours par être dirigée vers le mauvais endroit, et vous ne voulez certainement pas que cette énergie parasite endommage vos capteurs.