http://cozy-heat-ir.com/fa/tags/pid/ Recent content in PID on Cozy Infrared Home Heating Hugo fa Fri, 19 Jun 2026 06:48:39 +0800 http://cozy-heat-ir.com/fa/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ Fri, 19 Jun 2026 06:48:39 +0800 http://cozy-heat-ir.com/fa/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="گرمکن نیمههادی کنترلشونده توسط PID"></p> <p>در فرآیند خشک کردن یا حرارت دادن ویفر، نوسانات دمایی نه تنها در نمودارها مشخص می‌شوند، بلکه بر بازدهی کلی فرآیند نیز تأثیر می‌گذارند. تغییر ۱ درجه سانتی‌گراد در دما، می‌تواند ابعاد مهم ویفر را تغییر دهد؛ همچنین، گرمکن‌های کثیف می‌توانند ذراتی را تولید کنند که باعث از بین رفتن بخش‌هایی از ویفر شوند. ما یک گرمکن نیمه‌هادی کنترل‌شوند توسط سیستم PID ساختیم تا این نوسانات را از همان ابتدا کنترل کند.</p> <p>از نظر فنی، چیزی که اهمیت دارد این است که یک منبع تابش مادون قرمز با یک کنترل‌کننده PID دورخودبند، دمای ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ کند. یکنواختی دما در سطح ویفر نیز باید بالاتر از ±۰.۵ درجه سانتی‌گراد باشد؛ تا لایه فوتورزیست نیز دمای یکنواختی داشته باشد. زمان پاسخگویی گرمکن نیز کمتر از ۳۰۰ میلی‌ثانیه است؛ این امر باعث می‌شود فرآیندهای حرارتی به خوبی انجام شوند. پنجره کوارتزی و بدنه گرمکن نیز برای استفاده در اتاق‌های پاک‌سازی ساخته شده‌اند؛ همچنین، گرمکن در دمای کاری، هیچ ذره‌ای تولید نمی‌کند. در طول ۲۴ ساعت، یکنواختی دما در محدوده ≤۰.۲ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند؛ این میزان برای کنترل دقیق ابعاد ویفر کافی است.</p>