http://cozy-heat-ir.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Cozy Infrared Home Heating Hugo fa Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/fa/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="قطعه یدکی لامپ لیتوگرافی ASML"></p> <p>در خط تولید ۳۰۰ میلی‌متری، ما از قابلیت‌های حرارتی دستگاه به حداکثر استفاده را می‌کنیم. حتی اختلاف نیم درجه‌ای در دمای فرآیند، می‌تواند باعث تغییراتی در پروفایل فوتورزیست شود؛ همچنین، عدم یکنواختی در دمای فرآیند، منجر به وجود لایه‌های اضافی در لبه‌های ویفر می‌شود. چنین اختلافاتی نه تنها سرعت فرآیند را کاهش می‌دهند، بلکه باعث ایجاد ضایعات نیز می‌شوند. ما از لامپ‌های یدکی ASML برای کاهش این نوسانات استفاده می‌کنیم.</p> <p><strong>نکات فنی مهم:</strong><br> ما رفتار حرارتی پلتفرم ASML را با خروجی‌های موج کوتاه و متوسط سازگار می‌کنیم تا فرآیند فوتورزیست به درستی انجام شود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتی‌گراد از یک چرخه به چرخه دیگر باقی می‌ماند. این لامپ‌ها در اتاق‌های پاکیزه کلاس ۱–۱۰۰ کار می‌کنند و هیچ ذره‌ای ایجاد نمی‌کنند؛ این موضوع نیز به صورت مستقیم بررسی شده است. این لامپ‌ها برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده‌اند؛ حداقل ۵٬۰۰۰ ساعت کار بدون افزایش بیش از ۵ درصد در خروجی. همچنین، از آنجایی که ولتاژها و اتصالات این لامپ‌ها با رابط‌های دستگاه ASML سازگار هستند، می‌توان آن‌ها را بدون نیاز به تنظیمات مجدد، جایگزین کرد.</p>