چرا از پوششهای طلاکاریشده برای جلوگیری از هدر رفت انرژی استفاده میکنیم؟
هنگام فرآوری ویفرهای نیمههادی، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. اگر دیوارههای محفظه، گرما را جذب کنند به جای بازتاب دادن آن، در واقع در حال هدر دادن پول هستید و همچنین خطر اختلال در یکنواختی دمایی نیز وجود دارد.
به همین دلیل از فولاد ضدزنگ با پوشش طلا استفاده میکنیم. این روش، راهحل سادهای برای این مشکل است؛ چرا که میخواهیم تمام انرژی مادون قرمز به ویفر برسد، نه به دیوارههای محفظه.
جادوی طلا
فولاد ضدزنگ صیقلی نیز میتواند گرما را بازتاب دهد؛ اما در مواجهه با امواج کوتاه لامپهای مادون قرمز، این روش کافی نیست.
طلا متفاوت است؛ آن بیش از ۹۸٪ از انرژی مادون قرمز را بازتاب میدهد. با اضافه کردن یک لایه نازک طلا به داخل محفظه، میتوانیم کل سیستم را به یک آینه گرمایی با عملکرد بالا تبدیل کنیم. در نتیجه، انرژی در همان جایی که باید باشد، باقی میماند.
نحوه ساخت آنها
ما از فولاد ضدزنگ شروع میکنیم؛ چرا که این فلز مقاوم است، وزن را تحمل میکند و در دماهای بالا ترک نمیخورد. سپس، شکل محفظه را به گونهای تنظیم میکنیم که پرتو حرارتی در جهت صحیح هدایت شود.
نتیجه این کار این است که ویفرها سریعتر به دمای مورد نیاز میرسند؛ این امر برای کاهش زمان فرآوری بسیار مفید است.
اما یک مشکل وجود دارد؛ طلا کمی حساس است. اگر فرآیند فرآوری شما از گازهای خورنده استفاده کند یا محفظه کثیف شود، این پوشش شروع به فرسودگی خواهد کرد. در این صورت، بازتاب انرژی کاهش خواهد یافت و کارایی سیستم نیز کاهش خواهد یافت. بنابراین باید از پوششهای مناسب برای حفظ سطح طلا استفاده کنید.
نصب آنها
نصب این محفظهها کمی پیچیده است؛ باید دقت زیادی داشت.
اگر لامپ چند میلیمتر از مرکز منحرف شود، نقطه کانونی نیز تغییر خواهد کرد. در نتیجه، نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد و کیفیت ویفرها کاهش خواهد یافت.
ما این محفظهها را به عنوان جایگزینی برای ماژولهای حرارتی فعلی طراحی کردهایم؛ اما ابتدا باید بررسی کنید که منبع تغذیه شما قادر به تحمل بار حرارتی است یا خیر. همچنین، حتماً فنهای خنککننده را بررسی کنید؛ چرا که بخشی از گرما ممکن است به سمت اشتباهی هدایت شود، و شما نمیخواهید که این انرژی باعث آسیب به سنسورها شود.