دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را گرم کنید!
مشکل لامپهای مادون قرمز استاندارد این است که گرما را در تمام جهات پخش میکنند. در دستگاههای نیمههادی، این موضوع واقعاً فاجعهبار است؛ نیمی از انرژی به سمت ویفر میرود، اما نیمه دیگر؟ آن گرما فقط دیوارههای داخلی دستگاه را گرم میکند. این کار باعث هدررفت انرژی میشود؛ همچنین، دمای داخل دستگاه آنقدر بالا میرود که میتواند باعث سوختن افراد شود. علاوه بر این، فنهای خنککننده نیز باید بیشتر کار کنند تا از ذوب شدن کل دستگاه جلوگیری شود.
راهحل مناسب:
ما از غلافهای کوارتزی پوشیده شده با طلا برای حل این مشکل استفاده میکنیم. طلا را میتوان مانند یک آینه برای پرتوهای مادون قرمز در نظر گرفت؛ این پوشش، فوتونهای گرما را به سمت جلو هدایت میکند. در نتیجه، پرتو گرما دقیقاً به محل مورد نظر میرسد. از آنجایی که گرما به همه جا پخش نمیشود، بخش عقب دستگاه خنک باقی میماند. این امر به شما اجازه میدهد تا میزان انرژی وارد شده به ویفر را افزایش دهید، بدون اینکه داخل دستگاه بیش از حد گرم شود.
نکات مهم در مورد نصب:
نمیتوانید فقط این غلافها را جایگزین کنید و کار را تمام کنید. از آنجایی که پوشش طلا تمام انرژی را متمرکز میکند، تراکم گرما در نقطه فوکوس بسیار بالاتر از لامپهای شفاف خواهد بود. بنابراین، باید به کنترلکنندههای PID دستگاه توجه کنید. اگر یک لامپ طلا را در سیستمی که برای لامپهای شفاف تنظیم شده است، استفاده کنید، احتمالاً دمای دستگاه بیش از حد خواهد بود و باعث آسیب به سطح کاری دستگاه خواهد شد.
تأثیر این روش بر کارکنان:
برای مهندسانی که مسئول نگهداری این دستگاهها هستند، این روش واقعاً راهحل عالیای است؛ دیگر نیازی به جلوگیری از گرم شدن بخشهای مختلف دستگاه نیست. همچنین، از آنجایی که گرما در یک جهت هدایت میشود، میتوان دستگاه را با فضای کمتری ساخت. دیگر نیازی نیست فاصله زیادی بین بخشهای مختلف دستگاه وجود داشته باشد تا از جذب گرما توسط دستگاه جلوگیری شود.
این یک تغییر ساده است؛ دیگر نیازی نیست دستگاه را گرم کنید، بلکه میتوانید محصول را گرم کنید.