Fábrica de lámparas infrarrojas de fibra de carbono

Thu, 23 Jul 2026 12:27:08 +0800

¿Por qué usamos oro para calentar las obleas de silicio?
Cuando se calientan las obleas de silicio, cada vatio que no llega al objetivo es simplemente dinero desperdiciado. Peor aún, ese calor residual se dispersa en el marco de la máquina, lo cual es lo último que queremos.

Para evitar eso, combinamos lámparas de infrarrojos de fibra de carbono con reflectores recubiertos de oro. Los reflectores de aluminio también funcionan bien, pero el oro está en una categoría completamente diferente.

Calentador para la fabricación de nanotubos de carbono

Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800

En la sala de litografía, el horneado del fotoresiste es donde tu presupuesto térmico se convierte en control del ancho de línea. Un desplazamiento de tan solo un grado en el horneado suave modifica cómo se elimina el solvente. Y si el horneado duro no es uniforme en toda la oblea, olvídate de una uniformidad estricta del CD. Ahí es precisamente donde los calentadores de nanotubos de carbono demuestran su utilidad.

Qué importa, técnicamente

Diseñamos estos calentadores alrededor de un emisor de nanotubos de carbono con infrarrojo de onda corta. Alcanzan el punto de consigna rápidamente y lo mantienen estable. El resultado es un campo térmico en el plano de la oblea uniforme dentro de un submilímetro, con una uniformidad a nivel de oblea de ±0.1°C en las temperaturas típicas de horneado del fotoresiste.
La repetibilidad está por debajo de 0.05°C de deriva entre puntos de consigna en 24 horas, por lo que cada lote recibe el mismo perfil térmico. El sistema se mantiene limpio, sin generación de partículas, y es compatible con entornos de sala limpia desde Clase 1 hasta Clase 100.

Carbono on Cozy Infrared Home Heating

Fábrica de lámparas infrarrojas de fibra de carbono

Calentador para la fabricación de nanotubos de carbono

Qué importa, técnicamente