http://cozy-heat-ir.com/de/tags/oberfl%C3%A4che/ Recent content in Oberfläche on Cozy Infrared Home Heating Hugo de Thu, 02 Jul 2026 09:52:51 +0800 http://cozy-heat-ir.com/de/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:52:51 +0800 http://cozy-heat-ir.com/de/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Heizer zur Messung der Oberflächenspannung von Wafern"></p> <p>Auf der Lithografieebene kann ein Hotspot mit einer Temperaturdifferenz von 0,5 °C auf der Waferoberfläche dazu führen, dass die notwendigen Toleranzen bezüglich der Oberflächenbeschaffenheit und der CD-Werte nicht mehr eingehalten werden können. Weder „Soft Bake“ noch „Hard Bake“ können solche Temperaturunterschiede ausgleichen – das war schon immer so und wird auch niemals anders sein. Wir haben daher einen Heizer entwickelt, der die Temperatur auf der Waferoberfläche konstant hält – mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C.</p>