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		<title>Kurz on Cozy Infrared Home Heating</title>
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				<title>Kurzwellige Infrarotlampe für IC</title>
				<link>http://cozy-heat-ir.com/de/posts/short-wave-infrared-lamp-for-ic/</link>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://cozy-heat-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png&#34; alt=&#34;Kurzwellige Infrarotlampe für IC&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Auf dem Fertigungsboden lernt man schnell: Eine Drift von 0,1 °C in der Backtemperatur kann eine kritische Dimension um Nanometer verschieben und Stunden an Lithographie-Arbeit zunichtemachen. Wenn Sie Photoresist-Prozesse durchführen – Softbake, Hardbake, Post-Exposure Bake – ist die thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene keine „schöne Zusatzfunktion“. Sie ist das Tor zur Ausbeute.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Folgendes setzen wir ein. Unsere kurzwelligen Infrarotlampen (SWIR) geben die Wärme direkt und schnell in den Stapel ab und halten die Gleichmäßigkeit über den Wafer innerhalb von ±0,1 °C. Die Quarzhülle und die Reflektor-Geometrie sorgen für ein stabiles thermisches Profil, und die Lampenleistung bleibt von Zyklus zu Zyklus reproduzierbar.&lt;/p&gt;</description>
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