Herstellung von Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser

Thu, 23 Jul 2026 12:27:08 +0800

Warum wir Gold zum Erhitzen von Siliziumwafeln verwenden
Beim Erhitzen von Siliziumwafeln ist jeder Watt, der nicht auf das Ziel trifft, einfach verschenkter Geldverlust. Noch schlimmer: Die überschüssige Wärme dringt in den Rahmen der Maschine ein – was man auf keinen Fall haben möchte.

Um dies zu verhindern, verwenden wir Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser in Kombination mit reflektierenden Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Aluminiumreflektoren funktionieren zwar auch gut, aber Gold steht auf einem völlig anderen Niveau.

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren

Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800

Auf dem Lithografie-Boden ist das Photoresist-Backen der Prozess, bei dem Ihr thermisches Budget in Linienbreitenkontrolle umgewandelt wird. Schon eine Abweichung von einem Grad beim Soft Bake verändert, wie das Lösungsmittel austreibt. Und wenn der Hard Bake nicht konstant über die gesamte Waferfläche ist, können Sie eine enge CD-Uniformität vergessen. Genau hier spielen Heizelemente mit Kohlenstoffnanoröhren ihre Vorteile aus.

Technisch relevante Aspekte

Diese Heizungen basieren auf kurzwelliger Infrarotstrahlung mit einem Kohlenstoffnanoröhren-Emitter. Sie erreichen schnell den Sollwert und halten ihn stabil. Das Ergebnis ist ein thermisches Feld über die Waferfläche, das auf unter einem Millimeter gleichmäßig ist, mit einer Wafer-Uniformität von ±0,1°C bei typischen Photoresist-Backtemperaturen.
Die Wiederholgenauigkeit liegt unter 0,05°C Drift zwischen Sollwerten über 24 Stunden, sodass jede Charge dasselbe thermische Profil erhält. Das System bleibt sauber, erzeugt keine Partikel und eignet sich für Reinraumbedingungen von Klasse 1 bis Klasse 100.

Kohlenstoff on Cozy Infrared Home Heating

Herstellung von Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren

Technisch relevante Aspekte