PID gesteuerter Halbleiterheizer

Fri, 19 Jun 2026 06:48:39 +0800

In der Fertigungshalle führt eine Temperaturschwankung während des Trocknens oder Backens nicht nur zu Schwankungen auf dem Diagramm – sie hat auch Auswirkungen auf die Qualität des Endprodukts. Eine Abweichung von 1 °C führt bereits zu Abweichungen der kritischen Dimensionen in Höhe von Nanometern. Zudem können schmutzige Heizelemente Partikel freisetzen, die dazu führen können, dass viele Produkte beschädigt werden. Wir haben daher einen PID-gesteuerten Halbleiterheizer entwickelt, um diese Schwankungen schon bei ihrer Entstehung zu verhindern.

Was technisch wichtig ist: Wir kombinieren einen Kurzwellen-Infrarotstrahler mit einem PID-Regler, damit die Temperatur innerhalb von ±0,1 °C gehalten werden kann. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf der Waferoberfläche liegt bei besser als ±0,5 °C – dadurch erhält die gesamte Photoresistschicht dieselbe Wärmemenge. Die Reaktionszeit beträgt weniger als 300 ms, was dazu beiträgt, dass die Prozesse präzise gesteuert werden können. Das Quarzfenster sowie das für Reinräume geeignete Gehäuse sind für Klasse 1–100 geeignet. Zudem wird bei Betriebstemperatur keine Partikel freigesetzt. Über einen Zeitraum von 24 Stunden bleibt die Genauigkeit bei ≤0,2 °C – das reicht aus, um die Eigenschaften des Photoresists unter Kontrolle zu halten.

Gesteuert on Cozy Infrared Home Heating

PID gesteuerter Halbleiterheizer