http://cozy-heat-ir.com/de/tags/asml/ Recent content in ASML on Cozy Infrared Home Heating Hugo de Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/de/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/de/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Ersatzteil für ASML Lithografielampe"></p> <p>Auf der 300-mm-Linie arbeiten wir bereits mit begrenzten thermischen Möglichkeiten. Schon eine Abweichung von 0,5 Grad während des Weichbrennvorgangs reicht aus, um das Profil des Photoresists zu verändern. Uneinheiten beim Hartbrennvorgang zeigen sich genau dort, wo man sie am wenigsten haben möchte – nämlich an den Rändern des Films. Solche Abweichungen verlangsamen nicht nur den Prozess, sondern führen auch dazu, dass Material verschwendet wird. Wir kombinieren diese Ersatzlampen von ASML <a href="https://o-yate.net">miteinander</a>, um diese Uneinheiten aus dem Prozess zu entfernen.</p>