Hören Sie auf, Ihre Geräte zu überhitzten.
Das Problem bei herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. In Halbleiterwerkzeugen ist das eine Katastrophe: Die Hälfte der Energie trifft zwar auf die Wafer, doch die andere Hälfte wird einfach verwendet, um die Innenwände des Geräts zu erhitzen. Das ist eine Verschwendung von Energie – außerdem wird das Gehäuse so heiß, dass es sogar jemanden verbrennen kann. Zudem müssen die Kühllüfter extra hart arbeiten, damit das Ganze nicht überhitzt.
Die beste Lösung:
Wir lösen dieses Problem, indem wir Quarzkörper mit Goldbeschichtung verwenden. Das Gold fungiert dabei wie ein Spiegel für Infrarotstrahlung. Anstatt dass die Wärme vom Rücken des Tubus abgeht, wird sie durch die Beschichtung nach vorne reflektiert. Dadurch entsteht ein gezielter Strahl, der genau dorthin trifft, wo er hinsoll. Da die Wärme nicht überallhin strahlt, bleibt das hintere Gehäuse kühl. Dadurch kann man die Leistung der Lampe erhöhen, ohne dass das Innere des Geräts überhitzt.
Ein paar Hinweise zur Einrichtung:
Man kann diese Lampen nicht einfach so einsetzen und dann ignorieren. Da die Goldbeschichtung alle Energie konzentriert, ist die Wärmestärke am Fokuspunkt viel höher als bei einer normalen Lampe. Man muss daher die PID-Controller entsprechend einstellen. Wenn man eine Goldlampe in ein System einsetzt, das für normale Lampen ausgelegt ist, ohne die Leistungscurve anzupassen, wird die Temperatur wahrscheinlich zu hoch werden – und das Substrat könnte beschädigt werden.
Was das für die Ingenieure bedeutet:
Für die Ingenieure, die diese Geräte warten müssen, ist das eine große Erleichterung. Keine mehr verbrannten Komponenten, keine Überhitzung der Elektronik. Und da die Wärme gezielt abgegeben wird, kann man das Gerät kompakter bauen. Es sind keine großen Luftspalten mehr notwendig, um zu verhindern, dass das Gehäuse Wärme aufnimmt.
Es handelt sich dabei um einen einfachen Wechsel: Statt das Gerät selbst zu erhitzen, heizt man nun das Produkt.