Hören Sie auf, Energie in der Vakuumkammer zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung in einer Vakuumkammer ist einfach ein schlechtes Design-Element. Wenn man Siliziumwafer erhitzt, ist jedes Watt, das nicht auf den Substrat trifft, eine Verschwendung. Die Energie geht stattdessen in die Wände der Kammer und zwingt das Kühlsystem dazu, doppelt so hart zu arbeiten – ohne dass das notwendig wäre. Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. So bleibt die Wärme genau dort, wo sie hingehört.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch das Problem ist, dass diese zu viel Infrarotenergie durchlassen. Wir nutzen einen hochreinen Goldschicht, denn diese leitet Wellenlängen im langwelligen und mittelwelligen Infrarotbereich viel besser weiter. Sie „reflektiert“ das Licht nicht nur, sondern lenkt den Strahl direkt auf den Wafer. Da die Reflektorschicht selbst keine Energie aufnimmt, erreicht fast alles sein Ziel.
Der Trick zur Erreichung hoher Energiedichte
Um eine hohe Energiedichte auf dem Wafer zu erzielen, muss man die Leistung der Lampe sowie die Form des Reflektors genau abstimmen. Wenn man eine Hochleistungs-lampe in ein System ohne präzisen Goldreflektor einsetzt, entstehen Hotspots und ungleichmäßige Erwärmung. Unsere goldbeschichteten Systeme sorgen dafür, dass der Strahl gezielt auf den Wafer gerichtet wird. Dadurch kann man die gewünschten Temperaturen schneller erreichen – und man muss nicht so hohe Spannungen verwenden, dass der Glühfaden beschädigt wird.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
Gold ist zwar das beste Material für diese Aufgabe, aber es ist nicht unzerstörbar. Diese Oberflächen sind empfindlich: Wenn im Prozess korrosive Gase verwendet werden oder es zu starkem Austreten von Gasen kommt, kann die Goldschicht beschädigt werden. Man muss daher die Kammer sauber halten. Wenn sich ein Film auf der Reflektorschicht bildet, sinkt die Effizienz – man muss mehr Energie einsetzen, um den Wafer bei der gleichen Temperatur zu halten.
Noch ein Tipp: Schließen Sie diese Geräte an eine stabile Stromversorgung an. So können Sie Spannungsspitzen vermeiden. Eine konstante Stromstärke sorgt dafür, dass das Emissionsspektrum konstant bleibt – das ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass die Wärme gleichmäßig über den gesamten Wafer verteilt wird.