http://cozy-heat-ir.com/cs/tags/litografie/ Recent content in Litografie on Cozy Infrared Home Heating Hugo cs Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/cs/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 01 Jul 2026 13:43:42 +0800 http://cozy-heat-ir.com/cs/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Náhradní části pro lampu lithografie ASML"></p> <p>Na lince s rozsahem 300 mm už intenzivně využíváme termální mož<a href="https://henruite.com">nosti</a> tohoto zařízení. Poloviční odchylka teploty během procesu zahřevu je dostatečná k narušení profilu fotorezistentu. Nerovnoměrnosti při intenzivním zahřevu se objevují právě tam, kde nechceme – jako zbytková vrstva na okrajích desky. Takové odchylky nejen zpomalují proces, ale také vedou ke ztrátám materiálu. Sestavili jsme tyto náhradní části pro lampy ASML, abychom eliminovali tuto nejistotu v procesu.</p> <p><strong>Co je z hlediska techniky důležité:</strong><br> Snažíme se upravit termální chování platformy ASML tak, aby odpovídalo výstupu krátkovlnných a střednovlnných světel určených k zahřevu fotorezistentu. Na celé ploše zahřevu zůstává rovnoměrnost na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost mezi jednotlivými cykly je ±0,2 °C. Tyto lampy fungují v prostorách s úrovní čistoty 1–100 bez vzniku částic, což je ověřeno přímo na místě. Jsou navrženy pro nepřetržitou práci po dobu 5 000 hodin s minimální odchylkou výstupního signálu o 5 %. A protože napětí a konektory odpovídají rozhraním zařízení ASML, jejich výměna probíhá bez nutnosti další kalibrace.</p>