晶圆除湿加热灯

在300 mm生产线上，晶圆进入烘烤轨道时仍带有一层薄薄的表面水分。如果灯无法快速且均匀地将水分驱除，下一次光刻工序就会显现问题——边缘珠、光刻胶缺陷，以及在对账报告中表现为良率损失的CD漂移。加热灯并非背景设备，而是工艺的关键限制因素。 我们设计的晶圆除湿加热灯正是为了达到这一限制而打造，其设计...